Beiträge zum Thema Mikroelektronik

Ruthenium Dry Etch ist eine Schlüsseltechnologie in der Mikroelektronik, die präzise Ätztechniken zur Bearbeitung von Ruthenium-Oberflächen nutzt und dabei hochreine Strukturen erzeugt. Die Verwendung von Ozon und plasma-atomarer Schichtätzung ermöglicht kontrollierte Materialentfernung und verbessert die Qualität komplexer Bauelemente erheblich....

Ruthenium ist ein Schlüsselmaterial für moderne Mikroelektronik, da es durch hohe Leitfähigkeit, thermische Stabilität und geringe Diffusion ideal für Interconnects geeignet ist. Fortschrittliche Polierprozesse und umweltfreundliche Lösungen optimieren seine Oberflächenqualität und ermöglichen effizientere sowie nachhaltigere Produktionsmethoden....