Beiträge zum Thema Rutheniumoxid

Ruthenium Dry Etch ist eine Schlüsseltechnologie in der Mikroelektronik, die präzise Ätztechniken zur Bearbeitung von Ruthenium-Oberflächen nutzt und dabei hochreine Strukturen erzeugt. Die Verwendung von Ozon und plasma-atomarer Schichtätzung ermöglicht kontrollierte Materialentfernung und verbessert die Qualität komplexer Bauelemente erheblich....